日本源头供应 HORIBA 崛场 FTIR气体分析仪 FG-100A
堀场制作所(HORIBA, Ltd.)创业1945年（昭和20年）10月17日，设立1953年（昭和28年）1月26日。公司主要生产和销售汽车排放测量系统、环境测量仪器、种类齐全的科学分析仪、医疗诊断分析仪和半导体行业使用的测量设备等。堀场还生产和销售外围测量与分析设备。此外，公司还可为实验室等机构提供用于研发、生产和其他应用的测量与分析设备。业务内容车：为提高车辆测试效率和加快开发提供有力支持环
公司主要生产和销售汽车排放测量系统、环境测量仪器、种类齐全的科学分析仪、医疗诊断分析仪和半导体行业使用的测 量设备等。
堀场还生产和销售外围测量与分析设备。此外，公司还可为实验室等机构提供用于研发、生产和其他应用的测 量与分析设备。
业务内容
车：为提高车辆测试效率和加快开发提供有力支持
环境/过程：为全球环境保护以及生产和质量控制过程中测量技术的发展做出贡献
医疗用途：提供实验室检测设备支持人们的健康生活
半导体：通过流量控制和测量技术，为半导体制造工艺的良率提高和技术创新做出贡献
科学：为从分析实验室到生产现场的尖端材料研究做出贡献
水/液体：为所有类型的水和液体的研究和管理做出贡献，包括环境水、半导体化学品和生物体。
活力：通过全球网络×测量技术×工程，为2050年实现碳中和社会做出贡献
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HORIBA 堀场 水质计D-200系列 D-210P-S(pH/ORP) D-210D-S(DO) D-210PC-S(pH/ORP) D-210PD-S(pH/COND/DO)
D-220P-S(pH) D-220C-S(COND) D-220D-S(DO) D-220PC-S(pH/COND) D-220PD-S(pH/DO)
多合一案例。携带手提箱可轻松直接前往现场！坚固的机身非常适合现场。防水防尘结构！防刮屏幕。
标准配备背光功能！防震且易于握持。操作直观。易于理解的指示器！9个按钮操作简单！单手即可轻松操作！配有电极支架。配备支架。
规格
电源 2节AA碱性电池（也可使用镍氢充电电池）
能量消耗 电池电压3V 5mA以下（待机）
展示 带背光的单色定制液晶显示屏
温度 测量方法：热敏电阻法。测量/显示范围：-30.0~130.0°C/-22.0~266.0°F。
显示分辨率：0.1℃/°F。准确度（仪器重复性）：±0.5°C/±0.9°F。
功能 稳定性判断功能：自动保持、自动稳定、瞬时值
防尘防水性能相当于IP67
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PH计 pH-33B / 9625-10D / pH-11B / pH-22B
一款紧凑型 pH 计，只需一滴 (0.1mL ~) 样品即可对酸度和碱度进行数值测量。
虽然它很小，但它采用了与实验室使用相同的玻璃电极和温度补偿功能。
LAQUAtwin独特的平面传感器只需掉落即可进行测量，因此不需要烧杯，也可以直接放置在河流等中并舀出进行测量。
规格
目的热带鱼养殖水体、河流、湖泊、温泉、废水、土壤、发酵、酿造、化学、医药、学校教育等。
测量范围pH0～14 质量（克）约50个（不含电池）
工作温度范围（℃）5～40 外形尺寸（毫米）164×29×20（不含突出部分）
电源2 节纽扣型锂电池 3V (CR2032)
测量项目酸碱度
显示方式定制（单色）数字液晶显示屏
工作湿度范围相对湿度85%以下（无凝露）
电池寿命（小时）连续使用约400次（背光关闭时）
测量原理 玻璃电极法
样品体积（毫升）0.1以上
主要成分ABS树脂
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.FTIR气体分析仪 FG-100A系列
进一步扩大分析用途
在尺寸大小上为小巧型设计。
单检测池和双检测池最新上市。
概要
FG-100A系列产品是可以对防止地球温暖化而需要削减的温室效应气体、PFCs等各种半导体¿FPD工艺用气体类进行各种分析的FTIR气体分析仪。
该装置力求在现场中完成高效的气体检测、实现大幅小巧化的同时，还备有单检测池类型和双检测池类型两个种类。不仅向检测点的设置¿移动非常简便，而且分析用途也多种多样。
包括最适用于半导体¿FPD工艺气体分析的软件、丰富的程序库以及可移动的采样单元装置在内，把它们作为一个总系统向您推荐。
长达50年之久HORIBA的有关环境气体分析的技术和经验支持着半导体¿FPD工艺的气体监测。
FTIR气体分析仪
FG-100A系列
技术规格
基本型号名称 FG-110A FG-120A 检测原理 FTIR法 检测器 液体氮冷却式MCT 电子冷却式MCT 检测波数范围 标准 ： 5000¿700cm-1
可选项 ： 5000¿600cm-1 标准 ： 5000¿900cm-1 检测池光路长
(检测池容积) 单检测池 ： 0.01m(6.2mL)、0.1m(62mL)、0.8m(220mL)、
2.4m(220mL)、10m(1800mL)
双检测池 ： 0.01m＋2.4m、0.01m＋0.8m、0.1m＋2.4m 检测池窗材质 标准 ： BaF2 可选项 ： ZnSe O型密封圈材质 标准 ： 氟化橡胶 可选项 ： Kalrez 配管的连接 标准 ： 1/4英寸 卡套管接口 可选项 ： 1/4英寸VCR 波数分解能 0.5、1、2、4、8、16(cm-1) 检测周期 大约0.6秒(因检测条件不同而有所差异。) 使用温度范围 10¿30℃ 使用湿度範囲 70％Rh以下 电源 AC100±10V 50/60Hz(国外技术规格另行准备) 消費电力 240VA(2.4m检测池) 250VA(2.4m检测池) 氮气 分析仪清洁用 ： 常时 5L/min左右
校正用 ： 必要时 5L/min左右
氮气条件 ： 纯度 99.99％以上、水分 -30℃饱和以下、不能有粉尘¿烟雾 液体氮 500¿600mL
(保持时间8¿10个小时) - 重量 单检测池类型 ： 40kg(2.4m检测池)
双检测池类型 ： 50kg 适用规格 CE标记、FCC第十五款(A类)
外形寸法图(单位：mm)
单检测池类型
双检测池类型
采样单元装置
FTIR气体分析仪
FG-100A系列
控制单元装置
控制单元装置 FGC-10可实现洁净室内的环境气体监测
能够适用于次ppm级低浓度气体的FG-100A系列气体分析仪和具有浓度显示功能以及输出功能的控制装置进行组合，可以不必使用电脑就能进行洁净室内的连续高灵敏度监测。通过采样线的切换进行多点监测等，可以为您提供建议从而组建各种各样的系统。利用FG-100A系列气体分析仪进行连续高灵敏度监测，可以为半导体¿FPD产业中的EHS(环境¿健康¿安全)做出贡献。
■控制单元装置 (FGC-10)技术规格 用 途 连续监测 显示内容 成分名称、指示值、浓度报警等 显示成分数 5成分/1画面
(检测成分数量最大可达到20种成分) 外部输入输出 模拟输入输出(0-1Ｖ)、
数字输入输出 大小 W450×Ｄ300×Ｈ230mm 电 源 ＡＣ100-240Ｖ 50/60Ｈｚ 消耗电力 80ＶＡ※ 有关详情请进行咨询。
外形尺寸图(单位：mm)
FG-100A系列
专用采样单元装置用意。
我们为您准备了最适于半导体¿FPD工艺的专用采样单元装置。可以很容易地导入样气。为了与FG-100A系列的系统作用，我们采用了便于进行设置¿移动的带小脚轮的节省空间设计方式。
采样单元装置(可选项)和FG-100A系列气体分析仪的组合例
用途例
可以应用于广泛的领域。
用于CVD工艺(反应室清洁等)以及干蚀刻工艺的最佳化 用于PFC处理(回收、分解)装置的研究开发 用于确认除害装置的性能 用于气体生产工艺中的质量管理 用于替代PFC气体的开发 用于洁净室内环境气体的监测 用于MOCVD用液体¿固体材料气体的浓度监测 用于CVD材料的热分解特性的评估
单检测池类型
双检测池类型
用途例
可以应用于广泛的领域。
流程图(单检测池类型)
※ 我们还采用了干扰仪的N2净化技术规格。
用于CVD工艺(反应室清洁等)以及干蚀刻工艺的最佳化 用于PFC处理(回收、分解)装置的研究开发 用于确认除害装置的性能 用于气体生产工艺中的质量管理 用于替代PFC气体的开发 用于洁净室内环境气体的监测 用于MOCVD用液体¿固体材料气体的浓度监测 用于CVD材料的热分解特性的评估
单检测池类型
双检测池类型
检测例
■Pb(C11H19O2)2 原料瓶更换前后的气体光谱
■Pb(C11H19O2)2 原料瓶更换前后的气体浓度监测
■CVD反应室清洁净化用排放气体分析
可在CVD反应室的废气气线(减压下)中进行采样。利用气体浓度的监测，可以判定反应室清洁净化的界点。通过清洁净化条件的最佳化，可以取得提高生产效力以及降低气体使用量等效果。
■干蚀刻废气检测(C2F6)
■除害装置(等离子式)废气检测
历史发展
1945-1960年代为研发型公司奠定基础
1945 年 10 月成立“堀场无线研究所”
1950年3月完成国内第一台玻璃电极pH计的国产化。
1953年1月成立“株式会社堀场”
1957年开始销售红外线气体分析仪“GA型”
1957年红外气体分析技术的兴起
1959 年 11 月与日立建立业务和技术联盟。
1964年在测量工业展览会（大阪）上展示汽车尾气测量设备作为参考。全球汽车尾气品牌“MEXA”诞生
1964年开始生产用于空气污染监测的二氧化碳测量仪“APPA-1”。
1969年介绍 HORIBA 历史上的热门产品 MEXA-200 CO 测量仪
1970年与美国 Olson Laboratories, Inc. 合并成立 Olson Horiba。全面启动海外扩张
1971 年 3 月在大阪证券交易所和京都证券交易所上市。
1972年在美国、德国设立子公司
1974年确立标准技术（现HORIBA STEC）
1975年向美国EPA（环境保护局）交付汽车尾气测量系统。“MEXA”成为全球标准
1975年成立Kos（现为“Horiba Advanced Techno”）
1976年能量色散X射线分析仪的研制
1978年确立了“有趣、有趣”的公司座右铭
1978年成立专门从事员工福利的公司“Horiba Community”。
1980年标准科技推出质量流量控制器。进军半导体领域
1982年HORIBA产品陈列室“分析中心”开业。更贴近客户
1982年9月在东京和大阪证券交易所第一部上市。
1984年开始生产光罩异物检查设备。全面进军半导体领域
1985年4月在新加坡设立销售办事处
1986年4月首家为部分企业实行三天工作制的上市公司
1987年成功开发世界第一台平板传感器卡式pH计“CARDI”
1987年3月与法国专门生产血细胞计数器的制造商ABX合作。医疗事业如火如荼
1987年10月与西德 Feuser AG 在汽车废气测量系统方面建立业务合作伙伴关系。
1988年开始建立“堀场身份”的ID活动。打造HORIBA品牌的第一步
1988年3月与美国Mydac就傅里叶变换红外分光光度计进行技术合作
1988年在奥地利成立“Horiba Austria”
1988年12月在韩国设立当地生产基地“Horiba Korea Co., Ltd.”。
20世纪90年代第二次创立和全球管理
2000年代“一家公司”集团团结一致，走向世界
2010年2月堀场敦荣获法国“荣誉军团勋章”。
2020年8月与岛津制作所合作开发并销售测量设备“LC Raman”
签订基本协议，开始合作开发和销售结合了岛津制作所的高性能液相色谱仪 (HPLC) 和堀场制作所的拉曼光谱仪的测量设备